容積式真空泵：通過周期性地增加和減少泵室容積進(jìn)行工作，如旋片真空泵，偏心轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時旋片刮擦泵腔，形成吸氣 - 壓縮 - 排氣循環(huán)，還有滑閥真空泵等也屬于此類146。 動量傳輸式真空泵：將氣體從低壓側(cè)輸送到高壓側(cè)而無需改變泵室容積，典型的如羅茨真空泵，利用兩個同步旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子將氣體吸入、壓縮并排出，羅茨泵在 1000~0.1Pa 范圍內(nèi)，抽速超越前級泵，能增強(qiáng)吸力，形成增壓效果236。 蒸汽流真空泵：抽氣主要靠氣體擴(kuò)散到無氣體高速蒸汽噴嘴，如水蒸氣噴射泵，蒸汽通過拉瓦爾噴嘴減壓增速，蒸汽的勢能轉(zhuǎn)變?yōu)閯幽懿⒁猿羲賴娙牖旌鲜遥c被抽介質(zhì)混合進(jìn)行能量交換，混合后的氣體進(jìn)入擴(kuò)壓器減速增壓，將動能轉(zhuǎn)化為壓強(qiáng)能1。 氣體捕集泵：通過冷凝作用或吸附、吸收等方式將氣體束縛到固體表面。如低溫泵，利用液氦或制冷機(jī)冷卻到極低溫度的冷板，使氣體凝結(jié)，保持凝結(jié)物的蒸汽壓力低于泵的極限壓力，達(dá)到抽氣的作用；還有濺射離子泵，通過空間電子在磁場作用下使氣體分子電離，離子飛向陰極濺射鈦原子并沉積，產(chǎn)生抽氣作用