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氣體類型: 干燥氣體(如空氣、氮氣):多數(shù)泵均可適用。 潮濕氣體(含水分、蒸汽):需選抗凝結(jié)型號,如帶氣鎮(zhèn)閥的旋片泵(防止水汽凝結(jié)污染泵油)、水環(huán)真空泵(本身用水密封,不怕水汽)。 腐蝕性氣體(如酸霧、氯氣):需選耐腐蝕材質(zhì)泵,如氟塑料材質(zhì)的干式真空泵、或搭配氣體捕集裝置(如吸附塔)的泵。 易燃易爆氣體(如氫氣、甲烷):需選無油真空泵(避免油與氣體反應(yīng)),如渦旋式干式真空泵、隔膜真空泵,且泵體需接地防爆。 含顆粒 / 粉塵氣體:需在泵入口加裝過濾器,避免顆粒磨損泵腔,可選耐磨材質(zhì)的羅茨泵或螺桿真空泵。 氣體可凝性:若氣體含蒸汽(如有機溶劑揮發(fā)物),需選帶氣鎮(zhèn)功能的泵(如旋片泵),或前置冷凝器將蒸汽冷凝為液體排除,防止泵內(nèi)積油或堵塞。 四、泵的性能參數(shù)匹配 極限壓力:泵的極限壓力需低于系統(tǒng)所需的極限真空度(通常預(yù)留 1~2 個數(shù)量級余量),例如系統(tǒng)需 1Pa 極限真空,泵的極限壓力應(yīng)≤0.1Pa。 抽速曲線:不同泵的抽速隨入口壓力變化的曲線不同(如羅茨泵在中真空段抽速穩(wěn)定,擴散泵在高真空段效率高),需確保在工作真空度下泵的抽速滿足需求。 前級泵要求:部分高真空泵(如羅茨泵、擴散泵、分子泵)無法單獨工作,需搭配前級泵(如旋片泵、水環(huán)泵)組成真空機組,需計算前級泵的抽速和極限壓力是否匹配主泵。